【ITBEAR】随着半导体制造工艺的不断演进,特别是在22纳米及以下节点,对套刻误差的要求日益严格。为了满足这一需求,基于衍射原理的套刻误差测量技术因其优越性而被广泛应用。这一技术的关键在于套刻标记的设计,其性能直接影响测量精度。
为此,东方晶源依托其强大的计算光刻平台PanGen®,推出了全新的DBO套刻标记仿真优化产品——PanOVL。该产品通过多维度计算仿真,能够高效识别并优化套刻标记,显著提升光刻过程的效率与质量。
PanOVL软件集成了PanGen OPC®引擎与PanGen Sim®严格电磁场仿真引擎,利用GPU+CPU混算及分布式计算框架,实现了大规模套刻标记的高效仿真。这一创新不仅缩短了标记研发周期,还提高了套刻标记的抗工艺扰动能力和信噪比。
PanOVL的推出,进一步强化了东方晶源在计算光刻领域的技术实力,为晶圆制造提供了更先进的EDA解决方案。
MINI电动车24小时不打烊,热销引发厂家紧急补货!
上周五(10月18日),宝马公司旗下的个性化豪华品牌MINI宣布全新电动MINI Cooper的限时礼遇政策。这项举措引起的热烈反响绝不亚于全新车型上市。目前MINI的销售现场异常火爆,订单量仍处于激增状态。
2024-10-22
MINI电动车24小时不打烊,热销致厂家紧急补货!
上周五(10月18日),宝马公司旗下的个性化豪华品牌MINI宣布全新电动MINI Cooper的限时礼遇政策。这项举措引起的热烈反响绝不亚于全新车型上市。目前MINI的销售现场异常火爆,订单量仍处于激增状态。
2024-10-22
江淮新能源重卡销量领涨,揭秘其行业领先地位的秘密
据相关媒体报道,江淮今年销售的新能源重卡9成以上都是DeepWay深向纯电动牵引车,DeepWay深向是什么来头?科技感十足的内饰也是一大看点,大尺寸双联屏、贯穿式中控台以及不规则的四辐式多功能方向盘,这些在…
2024-10-22
新能源轻卡9月热销近万辆,福田解放领跑,混动氢能谁领风骚?
根据第一商用车网掌握的最新数据,2024年9月份,国内新能源轻卡市场共计销售9986辆(注:本文轻卡指总质量4.5-6T货车,数据来源为交强险实销口径,不含出口,下同),环比今年8月份增长12%,同比也继续实…
2024-10-22