在半导体设备制造的核心领域，一项长期受制于国外的关键技术近日取得了重大突破。河海大学苏州研究院的仿生机器人技术团队携手企业，成功研制出“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制造领域实现了关键应用，为国产半导体设备整机装备制造解决了燃眉之急。
这款机械臂被誉为半导体晶圆生产线的“智慧大脑”，在光刻机、刻蚀机等关键设备中扮演着不可或缺的角色，其性能直接关乎芯片制造的精准度和效率。然而，此前这类高端设备一直被日本乐兹、美国布鲁克斯等国际巨头所垄断，且被列为禁运产品，给我国半导体产业链的安全带来了严峻挑战。
“要实现半导体产业的自主崛起，关键设备的自主可控是核心所在。”河海大学团队负责人徐林森教授强调。此次成果的研发，采用了产学研深度融合的模式，以企业为主体，联合北京航空航天大学等优势单位，共同攻克了一系列关键技术难题。
经过无数次的技术革新与迭代，该机械臂在多个方面取得了显著突破：机械系统采用了先进的集成化驱动与磁流体密封技术，成功解决了真空环境下的洁净度难题；实时控制系统则基于国产操作系统构建，实现了纳秒级的响应精度；同时，创新的误差补偿算法更是将机械臂的重复定位精度控制在了±0.05毫米，水平方向振动降低至0.2g，各项性能指标均达到了国际领先水平。
徐林森教授表示，这项技术的成功产业化，不仅极大地提升了企业的研发与管理水平，更促进了集成电路装备与机器人、智能制造技术的深度融合。该机械臂的推出，将有力加速集成电路装备的国产化进程，为培育产业创新生态、提升我国集成电路产业链的自主创新能力提供强有力的支撑。
目前，这款机械臂已经成功应用于多家行业标杆企业，在薄膜沉积、刻蚀等关键制程中稳定运行，其设备工艺适配性得到了客户的高度评价，累计销售收入已突破1300万元大关。同时，团队还积极协助企业牵头制定了《真空晶圆搬运机器人验收规范》团体标准，推动了国产设备与国际规则的接轨。
该团队在技术创新方面取得了丰硕成果，已获得国家发明专利6项、实用新型专利2项及软件著作权2项，构建起了一道坚实的技术防护墙。随着技术的不断成熟与应用领域的拓展，该团队正致力于将这一技术应用于5G通信、人工智能芯片等高端领域，为客户提供定制化的传输解决方案。
