三星电子近日宣布,其科研团队成功利用单元多层键合(CMB)技术,将两片450层3D NAND闪存芯片堆叠整合,构建出全球首个900层超高堆叠3D NAND闪存原型。经测试,该原型的存储单元工作特性已通过验证,标志着半导体存储技术向更高密度迈出关键一步。
将两片450层芯片整合为一片900层结构,相当于将两座“摩天大楼”无缝连接,这对键合工艺的可靠性提出了严苛挑战。三星电子通过自主研发的“上部卡盘”技术,有效解决了晶圆在堆叠过程中因热应力导致的翘曲问题,确保了多层结构的物理稳定性。同时,团队采用新型套刻校正技术,将微细对准误差控制在极小范围内,为超高密度堆叠提供了精度保障。
在电路设计层面,三星对位线(BL)与字线(WL)结构进行优化,不仅降低了芯片整体功耗,还进一步缩小了存储单元尺寸。这一突破使得900层堆叠芯片在保持高性能的同时,具备更强的能效比和集成度,为未来大容量存储设备的研发奠定了基础。
据行业分析,900层3D NAND闪存的问世,将推动固态硬盘(SSD)等存储产品的容量和速度实现质的飞跃。三星电子表示,该技术目前仍处于原型阶段,后续需通过量产工艺验证,但已为半导体存储领域的技术竞争提供了新的方向。