5月29日消息，荷兰ASML公司不仅独占了全球EUV光刻机，在DUV光刻机中也成为主力，这方面已经完全超越了曾经的霸主日本，但尼康并不打算放弃，现在要跟ASML打价格战。
尼康CEO大村康弘日前在采访中表示，公司正在尝试提供价格低于ASML的方式来赢得新的ArF光刻机订单。
尼康也有打价格战的本钱，大村康弘表示尼康能在成本上与之竞争，因为他们可以自产许多零部件。
目前尼康正在跟亚洲及美洲的主要芯片制造商进行谈判，已经接近达成采购订单了。
ArF光刻机是DUV光刻机中的一种，而且是当前比较高端的范畴，193nm波长，有干式和沉浸式两种类型，又以后者为高端，ASML当前主力型号1980i、2000i就是这个级别的，也是国内这几年进口最多的光刻机类型。
ArF光刻机配合多种技术之后可以量产7nm级的工艺，即便是EUV光刻机量产多年之后，芯片生产中依然需要ArF光刻机，因为不是所有的芯片层都要用EUV光刻，不然成本就太高了。
日本的佳能、尼康不仅是相机巨头，曾经也是光刻机中的大腕，地位一度比ASML都高，Intel公司早些年就采购了大量尼康的光刻机，占比一度高达80%。
不过讽刺的是或许就是对日系光刻机的依赖太多，导致Intel错过了DUV到EUV的升级转换，反而让他们在这十年来落后于台积电了。
不过尼康的ArF光刻机依然有可取之处，自身就有光学镜头研发，CD均匀性方面表现一直很好，而且现在打价格战，20-30%的低价意味着能节省大量投资，很适合晶圆厂作为ASML光刻机的低配版搭档使用。
责任编辑：宪瑞
