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北方华创发布12英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备

时间:2026-06-02 11:00:54来源:格隆汇编辑:快讯
格隆汇6月2日|北方华创日前正式发布全新12英寸气体团簇离子束(GCIB)刻蚀设备Acme Glaion130。设备突破三大核心技术瓶颈,覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。
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