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英特尔14A2工艺革新:双面供电+缩小互连间距,2029年与台积电三星正面交锋

时间:2026-07-07 17:23:16来源:互联网编辑:快讯

为在1.4纳米级芯片技术竞争中占据主动,英特尔正加速推进其制程工艺升级计划。针对台积电与三星即将推出的同级别技术,该公司决定在现有14A工艺基础上开发改良版本14A2(14A Gen2),通过多项技术创新应对更先进制程带来的技术挑战。

在供电架构方面,英特尔计划突破传统单侧供电模式,在14A2工艺中采用前后双侧供电方案。该方案在保留前部供电的同时,结合已应用于14A工艺的PowerDirect背部供电技术,将供电网络转移至晶圆背面。这种复合供电设计旨在解决互连尺寸缩小导致的供电稳定性问题,为晶体管密度提升提供保障。

金属互连层优化是14A2工艺的另一核心突破。英特尔工程师计划将最低金属互连层M0的间距从14A工艺的28纳米压缩至21纳米,通过缩小线宽提升晶体管集成度。这项改进不仅能显著提高芯片性能,还能增强High-NA EUV光刻设备的生产经济性,降低单位芯片制造成本。

根据技术路线图,英特尔将于2026年10月向客户交付14A工艺0.9版本设计套件,目标在18个月内获得大型无晶圆厂企业的订单。风险试产定于2028年启动,2029年进入量产阶段。这一时间表与竞争对手形成直接对标:台积电A14工厂预计2027年底试产、2028年下半年量产;三星则计划2029年实现1.4纳米工艺量产。

行业分析指出,三家芯片巨头在1.4纳米节点的竞争将重塑半导体产业格局。英特尔通过半节点升级策略缩短研发周期,台积电凭借晶圆厂建设进度保持领先,三星则依托垂直整合模式寻求突破。这场技术竞赛不仅考验企业的研发实力,更涉及设备供应商、材料企业等产业链的协同配合。

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