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ASML助力英特尔:Intel 18A工艺首用High NA EUV量产芯片领跑全球

时间:2026-07-16 00:22:21来源:互联网编辑:快讯

全球半导体制造领域迎来重要突破,英特尔代工在先进制程技术上实现关键进展。据最新披露,该企业已基于Intel 18A工艺节点,运用阿斯麦(ASML)研发的高数值孔径极紫外光刻(High NA EUV)技术,成功量产部分Intel Core Ultra Series 3(代号Panther Lake)处理器。这一成果使其成为全球首家达成High NA EUV逻辑芯片规模化出货的企业,标志着半导体制造技术向更高精度迈进。

技术验证方面,双方联合宣布,Intel 18A工艺中的部分关键层已完成High NA EUV设备的双重认证流程,产品良率已达到现有NXE EUV平台标准。这一数据表明,新一代光刻技术在实际生产环境中具备可靠性,为后续全制程应用奠定基础。英特尔代工团队表示,将持续优化该技术与现有工艺的融合,推动其在未来更先进制程节点中的普及。

行业动态方面,另一家半导体巨头台积电此前曾被传暂停对High NA EUV设备的投资。针对这一传闻,台积电董事长魏哲家在近期股东会上明确回应,称公司不仅已购入相关设备,且正通过技术攻关降低使用成本。他解释称,当前生产需求尚未达到必须启用该技术的阶段,但企业正从工艺优化、材料改进等维度提升设备效益,为未来量产做好准备。这一表态凸显了头部企业在技术路线选择上的差异化策略。

业内分析指出,High NA EUV技术通过提升光刻分辨率,可使芯片特征尺寸缩小至现有水平的70%左右,对延续摩尔定律具有战略意义。然而,单台设备造价超过1.5亿美元,且配套工艺开发成本高昂,成为制约其普及的主要因素。英特尔此次量产突破,或将加速供应链企业对该技术的投入,推动全球半导体制造竞争格局演变。

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