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“中国刻蚀机之父”尹志尧:中微突破技术壁垒 18个月造出先进大平板设备

时间:2026-05-17 17:15:47来源:互联网编辑:快讯

在央视《对话》节目中,“中国刻蚀机之父”、中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧分享了中微公司在半导体设备领域的重大突破。2023年12月,中微公司决定进军大平板设备领域,此前该领域约17种工艺设备全部依赖进口。这种大平板设备体型庞大,重达150吨,长宽均为15米,高度相当于两层半楼。

尹志尧介绍,按照行业经验,开发此类设备通常需要3至7年时间。然而,中微公司的精锐团队仅用12个月就从零开始制造出可运转的设备,不到4个月就满足客户下一代技术要求,18个月便完成设备生产并通过客户核准。他自豪地表示,中微公司已具备研发最先进设备的能力。

尹志尧的个人经历堪称传奇。他是首位入职英特尔的中国留学生,在美国半导体行业工作20余年,积累了数百项专利,曾参与创建两家世界顶尖设备公司。60岁时,他放弃百万年薪回国创业,当时中国半导体设备市场几乎处于空白状态。他带领团队从零开始,创立中微公司并逐步将其发展为与美国同行齐名的刻蚀机巨头。

据尹志尧透露,回国创业时,中微公司严格遵守规定,所有员工不得携带任何技术文件,使用全新电脑从头开始研发。经过22年发展,中微公司市值突破2000亿元,其设备已进入台积电5纳米、3纳米先进制程供应链。尹志尧本人也已恢复中国国籍。

央视财经报道指出,中国半导体设备产业已实现从零到体系化的跨越式发展。成熟制程设备基本实现自主可控,核心设备跻身全球第一梯队,在部分短板领域也在持续缩小与国际领先水平的差距。

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