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台媒:台积电 EUV 光刻机采购破 50 台,远超三星

9月28日消息 据台媒 DigiTimes 报道,台积电加速先进制程推进,近期扩大释单,累计 EUV 机台至 2021 年底将超过 50 台。

报道指出,相较之下,三星电子(Samsung Electronics)2021 年还不到 25 台,同时 EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期。

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台积电 8 月举行了年度技术研讨会,透露了其在尖端制造实力方面的情况。台积电占据了业界 EUV(极紫外光)设备安装量的 50%。此外,台积电还拥有约 60% 的 EUV 晶圆累计产量。

ASML 是唯一一家生产和销售 EUV 光刻设备的公司。按照 Cutress 此前估计,台积电已经从 ASML 购买了 30-35 台设备。据此估算,ASML 已售出约 70 台机器,到 2020 年底可能会卖到 90 台。

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