国产半导体生产设备制造领域正迎来蓬勃发展期，其中，一家新兴企业——成都入江富乐德精密机械有限公司（以下简称“成都入江富乐德”），凭借其出色的技术和产品，在成都半导体产业链中崭露头角。
今年3月，成都入江富乐德正式在成都市龙泉驿区开业，专注于波纹管和真空阀门的制造。近日，记者探访了这家公司，深入了解了其在半导体生产设备阀门制造领域的创新成果。
在成都入江富乐德的生产车间，阀门设计课副课长于洲向记者展示了公司的阀门产品，并详细阐述了其技术特性。他介绍，在半导体生产工艺中，阀门扮演着至关重要的角色，它们负责隔离与保护、流量与压力控制、传输与定位以及确保系统的安全性与可靠性。
然而，目前国内真空阀门制造领域面临的一大难题是微小颗粒的控制。阀门在开关过程中会产生颗粒，而半导体客户对颗粒的要求极为严格，任何不合格都会导致产品不良率显著上升。于洲自豪地表示，成都入江富乐德的阀门具有低振动、低颗粒产生和长寿命的特点，即使在连续开合6万次后，产生的颗粒数量也仅为10颗。
为了确保产品的稳定性和可靠性，成都入江富乐德对阀门进行了严格的测试。针对12寸小型的半导体阀门，公司正在进行包括氦检测试、颗粒测试、振动测试和寿命测试在内的多项测试。目前，寿命测试已进行了约180万次的动作循环，每隔20万次都会进行一次全面的性能测试。该阀门的设计寿命为200万次，但公司设定了更高的测试目标，即动作达到300万次，以确保其寿命的安全系数不小于1.5。
作为国产半导体生产设备阀门制造的新秀，成都入江富乐德不仅注重技术创新，还高度重视四川本土化生产。记者了解到，公司的小型阀门生产主要集中在成都，而大型阀门和波纹管的生产则在内江进行，投资超过3亿元，占地面积达9000平方米的厂房已正式投入使用。目前，公司的客户涵盖了北方华创、中微半导等知名企业。
天眼查APP显示，成都入江富乐德成立于2023年，是安徽入江富乐德精密机械有限公司的全资子公司。股权关系显示，入江工研株式会社与富乐德分别持有安徽入江富乐德51%和49%的股份。富乐德是一家在泛半导体领域提供设备精密洗净服务的知名企业，于2022年12月登陆创业板，专注于为半导体和显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净服务。
